Seri M memberikan pengukuran ketebalan pelapisan berkinerja tinggi untuk fitur terkecil, menggunakan optik poli-kapiler canggih yang memfokuskan sinar x-ray hingga 7,5μm FWHM. Ini dilengkapi dengan kamera pembesaran tinggi 140x dengan zoom digital yang ditingkatkan, disandingkan dengan kamera makro sekunder untuk navigasi yang mudah. Panggung X-Y yang dapat diprogram dengan presisi tinggi memungkinkan pengukuran multi-titik, dengan pengenalan pola otomatis dan pemetaan 2D untuk analisis topografi permukaan. Konfigurasi standar menampilkan optik 15μm, detektor LSDD resolusi tinggi, dan panggung X-Y yang dapat diprogram. Karena jarak fokusnya yang dekat, sampel harus rata.  

Seri O menggabungkan kinerja tinggi dan ukuran titik x-ray ultra-kecil (80μm FWHM) menggunakan optik poli-kapiler, yang memaksimalkan aliran x-ray untuk sensitivitas yang lebih tinggi dan pengujian yang lebih cepat pada komponen kecil atau pelapis tipis. Tidak seperti kolimator tradisional, sistem ini mempertahankan hampir 100% aliran tabung, memastikan pengulangan yang lebih baik dalam waktu pengujian yang lebih singkat. Ini dilengkapi dengan detektor SDD resolusi tinggi, pembesaran video 55x, zoom digital 7x, dan panggung X-Y yang dapat diprogram. Karena jarak fokusnya yang dekat, sampel harus rata. Sekarang tersedia dengan opsi panggung yang diperpanjang untuk fleksibilitas yang lebih besar.