KSD-170
THERMAL EVAPORATOR TIPE PINTU GESER
Kiyon menawarkan sistem yang dirancang khusus, yang terintegrasi dengan sistem Glovebox melalui desain internal milik Kiyon sendiri.
Komposisi Dasar
Karakteristik
- Ukuran ruang standar: 450 (L) x 450 (P) x 355/550 (T) mm
- Sumber: maks. 170 x 170 mm
- Kapasitas vakum: 5,0 x 10⁻⁷ Torr
- Tekanan kerja ruang: Di bawah 5,0 x 10⁻⁶ Torr dalam 30 menit
- Keseragaman ketebalan film: <±3% dalam kaca berukuran 156 mm x 156 mm
Desain
- Tipe pintu geser memungkinkan proses masuk/keluar sampel yang mudah dan aman
- Pintu belakang terisolasi untuk pembersihan dan perawatan yang mudah
Konfigurasi
- Kontrol otomatis melalui panel sentuh 10,5” (Pompa otomatis, ventilasi otomatis, penonaktifan sistem otomatis)
- Mendukung proses ko-deposisi
- Opsi rotasi sampel / pemanasan atau pendinginan
